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減薄機
單面拋光機
雙面拋光機
貼片機
刷洗機
半自動雙軸減薄機
IVG-2035/3035
半自動雙軸減薄機適用于2-12英寸晶圓及特殊規格材料的研削，采用手動裝片方式，操作簡單、功能豐富，單、雙軸加工可選用，雙軸使用時，產品粗磨后自動移動至精磨位置研削，配置自動測厚和補償系統提升設備研削精度。工作臺可根據客戶需求定制，性能優異，應用廣泛。
  • 最大晶圓尺寸

    8英寸

  • 砂輪規格

    ?203(OD)mm

  • 砂輪軸功率

    6.0 kw

    • Features
    產品特點
    操作靈活
    人工取放片 干進濕出
    功能全面
    自動厚度測量 多段研削程序 超負載等待
    兼容性好
    可磨削各類半導體材料 適應2-12英寸晶圓減薄
    配置豐富
    雙軸研削單元 平移式工作臺 可兼容拋平工藝
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