全自動(dòng)減薄機(jī)
TFG-2200/3200 series
該設(shè)備是適用于6/8英寸晶圓研削的雙主軸三工位全自動(dòng)減薄機(jī)，搭配高精度主軸，配置機(jī)械手上下片，集成自動(dòng)對(duì)中、傳送定位、清洗干燥功能，實(shí)現(xiàn)干進(jìn)干出的全自動(dòng)運(yùn)行。設(shè)備具有自動(dòng)測(cè)厚、多段研削、超負(fù)載等待等功能，加工精度高。
最大晶圓尺寸8英寸
砂輪規(guī)格?203(OD)mm
砂輪軸功率6 kw
工作臺(tái)數(shù)量3個(gè)
