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全自動單軸減薄機
IVG-2040/3040
全自動單軸減薄機適用于4-12英寸晶圓的研削,配置機械手上下片,并集成自動對中、清洗、干燥功能,配置自動厚度測量和補償系統(tǒng),可實現(xiàn)晶圓盒到盒、干進干出的全自動研削加工。
IVG-2040
IVG-3040
最大晶圓尺寸
8英寸
砂輪規(guī)格
?203(OD)mm
砂輪軸功率
6.0 kw
產(chǎn)品咨詢
Features
產(chǎn)品特點
全自動系統(tǒng)
全自動上下片 干進干出的全自動研削系統(tǒng)
功能全面
自動厚度測量 多段研削程序 超負載等待
兼容性好
可磨削各類半導體材料 適應4-12英寸晶圓減薄
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