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減薄機(jī)
單面拋光機(jī)
雙面拋光機(jī)
貼片機(jī)
刷洗機(jī)
全自動(dòng)晶圓刷洗機(jī)
TSC-150C/200C/200L
該系列設(shè)備是晶圓拋光后的專用清洗設(shè)備，集成全自動(dòng)上下料系統(tǒng)、雙面PVA刷洗、兆聲清洗、甩干&N2吹干等單元，集成度高，濕/干進(jìn)干出，適用于各種半導(dǎo)體晶圓拋光后的清洗。
  • 清洗工位

    皮帶傳送式6工位

  • 晶圓尺寸

    3-6英寸

  • 刷洗工位*2

    2個(gè)PVA刷，雙面刷洗

    • Features
    產(chǎn)品特點(diǎn)
    清洗工藝
    預(yù)清洗/雙面刷洗/漂洗/兆聲/吹干/甩干
    刷子類型
    PVA 刷 雙面刷洗
    PLC控制系統(tǒng)
    觸摸屏操作
    全自動(dòng)系統(tǒng)
    皮帶傳動(dòng) Cassette in/out 干進(jìn)干出
    產(chǎn)品咨詢
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