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金剛石拋光機

TGP-1040/1540 series

該設備是專門針對金剛石材料開發的拋光設備，具備單軸多工位，拋光盤具備高轉速、擺動運行等特點，真空吸附&夾具雙重固定金剛石襯底，滿足金剛石材料的高速拋光需求。

TGP-1040 TGP-1540

拋光盤規格

OD400 mm

拋光頭數量

4個

拋光頭尺寸

2-4英寸

拋光盤轉速

0-1500 RPM

Features

產品特點

超高轉速

拋光盤超高轉速拋光

加壓方式

氣缸加壓壓力控制精準

驅動形式

拋光頭主動旋轉拋光盤擺動旋轉

恒溫控制

拋光盤/拋光頭溫度控制系統

兼容性好

最大可加工6英寸晶圓